北廣科(kē)技(jì )承擔的“射頻發生器研發與産(chǎn)業化”國(guó)家科(kē)技(jì )重大專項02專項課題，已于2019年1月26日完成了綜合績效評價，順利通過國(guó)家正式驗收。這标志(zhì)着北廣科(kē)技(jì )首次承擔的國(guó)家科(kē)技(jì )重大專項任務(wù)圓滿完成。

“02專項”是《國(guó)家中(zhōng)長(cháng)期科(kē)學(xué)和技(jì )術發展規劃綱要（2006-2020年）》确定的十六個重大專項之一，旨在開發集成電(diàn)路關鍵制造裝(zhuāng)備，掌握具(jù)有(yǒu)自主知識産(chǎn)權的成套先進工(gōng)藝及相關新(xīn)材料技(jì )術，打破我國(guó)高端集成電(diàn)路制造裝(zhuāng)備與工(gōng)藝完全依賴進口的狀況。公(gōng)司研發的射頻發生器産(chǎn)品達到了研制任務(wù)合同書的各項要求，具(jù)備了進入集成電(diàn)路行業的技(jì )術條件。課題促進了國(guó)内射頻發生器零部件行業的技(jì )術水平和産(chǎn)業發展，提升了産(chǎn)業競争力，推動了我國(guó)集成電(diàn)路等行業關鍵制造設備的國(guó)産(chǎn)化進程。

“射頻發生器研發與産(chǎn)業化”課題，面向極大規模集成電(diàn)路制造裝(zhuāng)備及成套工(gōng)藝對射頻發生器的功率穩定度、精(jīng)度和線(xiàn)性度等技(jì )術要求，突破了一系列關鍵技(jì )術瓶頸，研發了三款射頻發生器産(chǎn)品。新(xīn)産(chǎn)品通過了北京北方華創微電(diàn)子裝(zhuāng)備有(yǒu)限公(gōng)司的工(gōng)藝測試驗證考核，并且通過了第三方科(kē)學(xué)技(jì )術成果評價。此前，本課題已通過了組織嚴格的現場測試、檔案正式驗收和内部驗收。本輪正式驗收，評審專家組聽取了課題完成情況報告和現場測試組的驗收測試報告，審閱了驗收資料，經過專家組問詢、讨論和逐項打分(fēn)，認定課題已經完成合同書中(zhōng)約定的各項考核指标，一緻同意課題通過驗收！

“射頻發生器研發與産(chǎn)業化”課題，共獲得了4000多(duō)萬元的國(guó)家政府資金資助，申請了42項專利（其中(zhōng)國(guó)内發明專利34項，國(guó)際發明專利3項），備案發布了3項産(chǎn)品的企業标準，建設了小(xiǎo)批量生産(chǎn)線(xiàn)，培養打造了一支專業化的産(chǎn)業團隊。射頻發生器的研發成功和産(chǎn)業化實施，為(wèi)公(gōng)司打造高端産(chǎn)品，向專業化、産(chǎn)業化和國(guó)際化戰略發展，實現北廣科(kē)技(jì )“做強國(guó)内行業之首、創建國(guó)際知名(míng)企業”做出了貢獻！